தானியங்கி வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பதம் கட்டுப்பாடு

சுத்தமான அறையின் வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பதம் முக்கியமாக செயல்முறை தேவைகளுக்கு ஏற்ப தீர்மானிக்கப்படுகிறது, ஆனால் செயல்முறை தேவைகள் பூர்த்தி செய்யப்படும் நிபந்தனையின் கீழ், மனித வசதியை கருத்தில் கொள்ள வேண்டும்.காற்றின் தூய்மை தேவைகள் அதிகரிப்பதால், செயல்முறை வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பதத்தில் மேலும் மேலும் கடுமையான தேவைகளைக் கொண்டிருக்கும் ஒரு போக்கு உள்ளது.

எந்திரத் துல்லியம் நுணுக்கமாக அதிகரித்து வருவதால், வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்க வரம்பிற்கான தேவைகள் சிறியதாகவும் சிறியதாகவும் வருகின்றன.எடுத்துக்காட்டாக, பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று உற்பத்தியின் லித்தோகிராஃபி வெளிப்பாடு செயல்பாட்டில், உதரவிதானத்தின் பொருளாக கண்ணாடி மற்றும் சிலிக்கான் செதில்களின் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் இடையே உள்ள வேறுபாடு சிறியதாகவும் சிறியதாகவும் இருக்க வேண்டும்.100μm விட்டம் கொண்ட ஒரு சிலிக்கான் செதில் வெப்பநிலை 1 டிகிரி உயரும் போது 0.24μm நேரியல் விரிவாக்கத்தை ஏற்படுத்தும்.எனவே, அது ±0.1 டிகிரி நிலையான வெப்பநிலையைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.அதே நேரத்தில், ஈரப்பதத்தின் மதிப்பு பொதுவாக குறைவாக இருக்க வேண்டும், ஏனென்றால் ஒரு நபர் வியர்த்த பிறகு, தயாரிப்பு மாசுபடும், குறிப்பாக சோடியம் பயப்படும் குறைக்கடத்தி பட்டறைகளுக்கு, இந்த வகையான சுத்தமான பட்டறை 25 டிகிரிக்கு மேல் இருக்கக்கூடாது.

அதிக ஈரப்பதம் அதிக சிக்கல்களை ஏற்படுத்துகிறது.ஈரப்பதம் 55% ஐ விட அதிகமாக இருக்கும்போது, ​​குளிரூட்டும் நீர் குழாயின் சுவரில் ஒடுக்கம் ஏற்படும்.இது ஒரு துல்லியமான சாதனம் அல்லது சுற்றுவட்டத்தில் ஏற்பட்டால், அது பல்வேறு விபத்துக்களை ஏற்படுத்தும்.ஈரப்பதம் 50% ஆக இருக்கும்போது துருப்பிடிப்பது எளிது.கூடுதலாக, ஈரப்பதம் அதிகமாக இருக்கும்போது, ​​சிலிக்கான் செதில்களின் மேற்பரப்பில் உள்ள தூசியானது, காற்றில் உள்ள நீர் மூலக்கூறுகளால் வேதியியல் ரீதியாக மேற்பரப்பில் உறிஞ்சப்படும், அதை அகற்றுவது கடினம்.அதிக ஈரப்பதம், ஒட்டுதலை அகற்றுவது மிகவும் கடினம், ஆனால் ஈரப்பதம் 30% ஐ விடக் குறைவாக இருக்கும்போது, ​​மின்னியல் விசை மற்றும் அதிக எண்ணிக்கையிலான குறைக்கடத்தியின் செயல்பாட்டின் காரணமாக துகள்கள் மேற்பரப்பில் எளிதில் உறிஞ்சப்படுகின்றன. சாதனங்கள் செயலிழக்க வாய்ப்புள்ளது.சிலிக்கான் செதில் உற்பத்திக்கான சிறந்த வெப்பநிலை வரம்பு 35-45% ஆகும்.